근적외선(NIR) 발광체 전구
팹에서의 포토레지스트 건조 과정은 결코 단순한 과정이 아닙니다. 소프트 베이크 과정에서 2°C만큼의 온도 변동이 생기면, 웨이퍼 전체에 걸쳐 CD 값에 변화가 생깁니다. 하드 베이크 과정에서도 온도가 균일하지 않으면, 그 결과로 불량품이 발생합니다. 또한 열 주기 동...
근적외선(NIR) 웨이퍼 건조기
제조 현장에서는 사소한 문제들도 신경 써야 합니다. 소프트 베이크 과정 중에 온도가 0.1°C만 변동해도 치명적인 결과를 초래할 수 있으며, 그로 인해 많은 웨이퍼가 폐기될 수 있습니다. 기존의 가열 방식은 열저항 문제를 해결하지 못하지만, NIR 웨이퍼 건조기는 그...