클린룸 장비 업그레이드 공장

만약 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 이미 그 문제를 잘 알고 있을 것입니다. 먼지 한 톨만 있어도 웨이퍼의 품질이 떨어집니다. 정말 끔찍한 상황이죠. 일반적인 가열 요소들은 안정적으로 작동해야 할 때 오히려 부서지거나 기체가 방출되어 문제를 일으킵니다....