리소그래피 라인에서 소프트 베이크가 단 0.5도만 변해도 CD 커브가 이동하며 웨이퍼 스타트 시간 한 시간이 소모될 수 있다. 우리는 이러한 변동성을 열 예산에서 제거하기 위해 연료전지 촉매 건조 램프를 설계했다. 이 램프는 포토레지스트 흡수와 일치하는 근적외선...

라인 상에서 페로브스카이트 스택은 가만히 있지 않는다. 용매는 건조되어야 하고, 결정은 핵생성되어야 하며, 계면은 온전하게 유지되어야 한다—모두 매우 제한된 열 예산 내에서 이루어진다. 한 곳의 과열이나 한쪽 가장자리의 냉점만 있어도 셀은 공정 허용 범위를 벗어난다....