웨이퍼 공정용 온도 센서

팹 내 탄소 배출량 줄이기: 왜 적외선 가열이 효과적인가? 반도체 제조 공장을 탄소 중립 상태로 만들고 싶다면, 더 이상 기존의 저항식 가열기에 의존해서는 안 됩니다. 그러한 가열기들은 너무 많은 에너지를 낭비합니다. 우리는 최근 웨이퍼 처리 장비에 적외선 가열기를...