클래스 100 청정실을 실제로 깨끗하게 유지하는 방법 클래스 100 환경에서 작업할 때는 아주 작은 먼지조차도 치명적인 문제가 됩니다. 문제는 대부분의 히터들이 꽤 지저분하다는 것입니다. 깨끗한 환경이 필요한 순간에도 이러한 히터들은 미세한 먼지를 내뿜습니다. 우리는...

암석으로 된 바닥 위에서는 온도 변동이나 서서히 상승하는 온도가 안정적인 공정을 망칠 수 있습니다. 웨이퍼 건조, 소프트 베이크, 하드 베이크 모두 일관된 속도와 정확한 온도 조절이 필요합니다. 우리는 고가의 장비 없이도 이러한 조건을 충족시킬 수 있는 단파 적외선...

팹에서의 포토레지스트 건조 과정은 결코 단순한 과정이 아닙니다. 소프트 베이크 과정에서 2°C만큼의 온도 변동이 생기면, 웨이퍼 전체에 걸쳐 CD 값에 변화가 생깁니다. 하드 베이크 과정에서도 온도가 균일하지 않으면, 그 결과로 불량품이 발생합니다. 또한 열 주기 동...

리소그래피 작업장에서는 절반 도 정도의 소프트 베이크 온도 편차만으로도 치명적인 치수 편차(CD bias)가 발생하며, 공정을 완전히 망가뜨릴 수 있다. 신뢰할 수 있는 열원이 필요하다—설정 후 신경 쓸 필요 없이, 손가락을 꼬지 말고. 내부에서 중요한 점 우리는 반...