파손을 막아라: 문제가 생겼을 때도 웨이퍼를 깨끗하게 유지하기 솔직히 말해서, 고부하 환경에서 IR 램프가 고장나면 정말 악몽과 같은 상황입니다. 단순히 장비가 멈추거나 부품이 고장 나는 문제뿐만 아니라, 그로 인해 발생하는 혼란도 심각합니다. 압력에 의해 하나의 석...

생산 라인에서는 어떤 경우에도 대기할 필요가 없습니다. 리소그래피 장비들은 연속적으로 작동하며, 만약 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 약간이라도 오차가 생기면, 치명적인 문제가 발생합니다. 열 변동은 단순한 문제가 아니라, 폐기물과 재작업으로 이어지고, 생산 능...