리소그래피 작업장에서는 절반 도 정도의 소프트 베이크 온도 편차만으로도 치명적인 치수 편차(CD bias)가 발생하며, 공정을 완전히 망가뜨릴 수 있다. 신뢰할 수 있는 열원이 필요하다—설정 후 신경 쓸 필요 없이, 손가락을 꼬지 말고. 내부에서 중요한 점 우리는 반...

라인상에서 온도 곡선은 단순한 제안이 아니라 공정 그 자체다. LCD 패널 제조라인에서는 포토레지스트 적층, 기판 온도, 베이크 프로파일이 선폭, 측벽 각도, 결함 허용치에 직접적인 영향을 준다. 베이크 온도가 흐트러지면 단순히 수율만 떨어지는 것이 아니라 추적성 상...