웨이퍼 경화 램프용 반사기

타버린 램프로 인해 전체 웨이퍼가 망가지는 것을 막으세요. 고부하로 웨이퍼를 처리할 때, 램프가 고장 나는 것은 큰 재앙입니다. 단순히 가동 중단 문제뿐만 아니라, 석영 램프가 터지면 유리 조각들과 할로겐 가스가 직접 실리콘 위에 떨어집니다. 그러면 웨이퍼들이 모두...