MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

금 코팅된 반사형 히터를 활용한 MEMS 웨이퍼 건조 과정에서의 전력 효율 극대화 이 히터를 만든 이유는 단 하나입니다. 바로 입력된 모든 전력이 웨이퍼에 정확하게 전달되도록 하는 것입니다. MEMS 제조 과정에서 건조란 단순히 열을 가하는 것이 아니라, 정확하고 일...