오존이 없는 적외선 램프

팹 내에서는 소프트 베이크와 하드 베이크 단계에서 패턴이 실제로 형성됩니다. 온도가 1°C만 벗어나거나, 웨이퍼 위에 과열된 부분이 생기면, 중요한 치수들이 변동하기 시작합니다. 웨이퍼가 에칭 챔버에 들어가기 전부터 생산 효율이 저하됩니다. 기술적으로 중요한 점 우리...