UHP(초고순도) 히터 램프

왜 반도체 건조에는 UHP 적외선 가열 방식이 더 적합한가요? 웨이퍼를 건조하는 방법에 대해 이야기해보겠습니다. 대부분의 사람들은 대류식 오븐을 사용하는 것에 익숙합니다. 즉, 주변의 공기를 모두 가열하는 그런 큰 장비 말입니다. 하지만 이 방식은 에너지 낭비가 심합...