왜 반도체 건조에는 UHP 적외선 가열 방식이 더 적합한가요?
웨이퍼를 건조하는 방법에 대해 이야기해보겠습니다. 대부분의 사람들은 대류식 오븐을 사용하는 것에 익숙합니다. 즉, 주변의 공기를 모두 가열하는 그런 큰 장비 말입니다. 하지만 이 방식은 에너지 낭비가 심합니다.
그래서 우리는 UHP 히터 램프를 사용합니다. 이 램프들은 방 전체를 가열하는 대신, 단파 적외선을 이용하여 용매와 수분을 직접 제거합니다. 이 방식은 효율적이고 빠릅니다. 솔직히 말해서, 이 방식이 무연 건조에 있어 훨씬 더 좋은 방법입니다.
중요한 것은 에너지가 어디로 가는가 하는 점입니다.
우리는 이 램프들을 특정 스펙트럼 파장에 맞게 조정했습니다. 간단히 말하자면, 반도체 수지와 “동일한 언어”로 소통할 수 있도록 설계된 것입니다. 그래서 재료가 열을 즉시 흡수할 수 있습니다.
거대한 가열실이 따로 필요하지 않습니다. 에너지가 바로 제품에 전달됩니다. 이를 통해 웨이퍼당 상당한 양의 전력을 절약할 수 있으며, 이는 비용 절감과 환경 보호에도 도움이 됩니다.
완벽한 청결 유지
클린룸에서는 “거의 순수한” 상태만으로는 충분하지 않습니다. 일반적인 유리를 사용하면 문제가 생길 수 있습니다. 유리는 균열이 생기거나 가스가 배출될 수 있으며, 그로 인해 원치 않는 입자들이 생길 수 있습니다.
그래서 우리는 고품질의 합성 석영을 사용합니다. 또한 조립 과정에서 유해한 플럭스나 납을 함유한 납땜재도 사용하지 않습니다. 램프 내부에는 할로겐 회로가 있어서 필라멘트가 너무 빨리 타버리는 것을 방지합니다. 그래서 수천 시간 동안 안정적인 출력을 유지할 수 있습니다.
한 가지 팁: 만약 최대 출력으로 작동시킨다면, 냉각 팬을 꼭 확인해야 합니다. 이 램프들은 많은 열을 발생시키므로, 공기 흐름이 제대로 되지 않으면 장비가 손상될 수 있습니다.
구식 열처리 방식 버리기
무연 건조 방식을 사용하려면 보통 더 높은 온도가 필요합니다. 구식 열처리 방식을 사용하면 마치 천천히 음식을 익히는 것과 같아서, 섬세한 부품들이 손상될 수 있습니다.
적외선 램프는 몇 초 만에 그러한 높은 온도에 도달할 수 있습니다. 필요한 열을 정확한 시점에 얻을 수 있으며, 그 후에는 더 이상 열이 발생하지 않습니다. 사용 시에는 아무런 배출물도 없으며, 무한한 예열 시간도 필요 없습니다. 그냥 작동하기만 하면 됩니다.