반도체 클린룸용 트롤리 히터

클린룸에서 공기를 가열하는 데 에너지를 낭비하지 마세요. 반도체 클린룸에서 일해본 사람이라면 그 어려움을 잘 알 것입니다. 웨이퍼의 온도를 일정하게 유지하려면 열 손실과 싸워야 합니다. 대부분의 사람들은 대류식 히터를 사용하지만, 문제는 이 히터들이 웨이퍼 주변의 공...