웨이퍼용 맞춤 적외선 히터

제조 현장에서의 포토레지스트 베이킹은 준비운동이 아니다. 이는 선폭 제어를 위한 열 게이트키퍼이다. 웨이퍼에서 2°C의 드리프트는 중요 치수를 사양에서 벗어나게 하며, 베이킹 중 생성된 입자는 에칭이 시작되기도 전에 장치를 고장낼 수 있다. 우리는 이러한 현실에 맞춰...