세라믹 적외선 히터 패널
리소그래피 공정에서의 온도 변화 리소그래피 공정에서 소프트 베이크 동안 0.5℃의 드리프트는 “작은 오류"가 아닙니다. 이는 폐기된 배치입니다. 이는 열 예산이 낭비되는 것이며, 중요한 치수 제어가 엉망이 되는 것입니다. 우리는 그 드리프트가 시작...
패널 히터
차가운 사무실은 어깨를 귀 쪽으로 올리는 것 이상의 일을 합니다. 집중력을 저하시켜 관절을 뻣뻣하게 만들고 겨울 감기가 쉽게 퍼지게 합니다. 강제 공기 시스템은 먼지를 휘젓기만 하고 사람들이 앉아 있는 바로 그 공간의 공기는 차갑게 유지됩니다. 적외선 패널 히터는 사...
LCD 패널 제조용 적외선 히터
라인상에서 온도 곡선은 단순한 제안이 아니라 공정 그 자체다. LCD 패널 제조라인에서는 포토레지스트 적층, 기판 온도, 베이크 프로파일이 선폭, 측벽 각도, 결함 허용치에 직접적인 영향을 준다. 베이크 온도가 흐트러지면 단순히 수율만 떨어지는 것이 아니라 추적성 상...