타버린 램프로 인해 전체 웨이퍼가 망가지는 것을 막으세요.
고부하로 웨이퍼를 처리할 때, 램프가 고장 나는 것은 큰 재앙입니다. 단순히 가동 중단 문제뿐만 아니라, 석영 램프가 터지면 유리 조각들과 할로겐 가스가 직접 실리콘 위에 떨어집니다. 그러면 웨이퍼들이 모두 망가지고 청정실도 엉망이 됩니다. 이는 매우 비용이 많이 드는 문제입니다.
그래서 우리는 물리적인 안전 장치로서 반사판을 만들었습니다.
반사판의 작동 원리
우리는 고순도 알루미늄으로 만든 반사판을 사용합니다. 이 반사판은 두 가지 역할을 합니다. 첫째, 적외선을 정확한 위치로 보내줍니다. 둘째, 램프를 보호하는 역할을 합니다.
램프를 감싸는 형태로 설계된 이 반사판 덕분에, 석영 램프가 파손되더라도 반사판이 대부분의 파편들을 가로챕니다. 그 결과, 웨이퍼들이 손상되는 것을 방지할 수 있습니다. 이렇게 하면 업무 환경도 훨씬 좋아집니다.
열 문제 해결
고출력 램프는 극심한 온도 차이를 만들어냅니다. 만약 그 열이 램프 내부로 다시 들어가면, 밀폐 구조가 손상됩니다. 저희도 이런 경우를 본 적이 있습니다. 연결 부위의 열 방출이 제대로 되지 않으면 램프가 일찍 고장납니다.
이를 해결하기 위해, 우리는 광택 처리된 알루미늄이나 금 도금 처리된 재료를 사용합니다. 이를 통해 전극에서 열이 멀리 떨어지도록 하여 램프의 수명을 연장할 수 있습니다.
장단점 및 대처 방법
하지만 반사판을 사용하면 필라멘트와 웨이퍼 사이의 거리가 조금 늘어나기 때문에, 램프의 성능이 조금 떨어질 수 있습니다. 그러므로 전력을 조금 더 높이거나, 웨이퍼를 조금 더 오랫동안 램프에 두어야 합니다. 솔직히 말해서, 이는 합당한 대가입니다. 웨이퍼들을 전부 버리는 것보다는 몇 초 더 처리하는 것이 훨씬 낫습니다.
마지막 팁: 냉각 팬을 잘 관리하세요. 제대로 연결되어 있고 충분한 공기가 흐르도록 해야 합니다. 반사판이 너무 뜨거워지면 변형될 수 있으며, 그러면 안전 장치가 제 기능을 하지 못합니다. 공기가 잘 흐르도록 하면 문제없습니다.