
왜 금 도금된 트윈 튜브 램프가 반도체 경화 공정에 필수적인지
반도체 산업은 ‘친환경적이고 납이 없는’ 기준을 향해 끊임없이 발전하고 있습니다. 하지만 문제는, 기존의 대류식 오븐들이 엄청난 에너지를 낭비한다는 점입니다. 이러한 오븐들은 부품 자체를 가열하는 대신 주변 공기를 가열하는 데 많은 시간을 할애합니다.
바로 여기서 우리의 금 도금된 트윈 튜브 IR 램프가 유용해집니다. 이 램프들은 방 전체를 가열하는 대신 열을 직접 기판에 집중시킵니다. 그 결과, 더 빠르게 가열되며, 에너지 낭비도 줄어듭니다.
비결은 바로 금에 있습니다.
일반적인 석영관을 사용할 경우, 소중한 에너지가 대부분 환경으로 낭비됩니다. 우리는 트윈 튜브의 내부를 금으로 코팅함으로써 고효율의 거울처럼 만들었습니다. 이를 통해 IR 복사선이 직접 웨이퍼나 PCB로 전달됩니다. 그 결과, 집중된 열이 발생합니다. 가장 좋은 점은, 와트 수를 줄여도 여전히 동일한 표면 온도를 얻을 수 있다는 것입니다. 즉, 더 효율적인 것입니다.
‘트윈 튜브’ 구조에 대해서…
하나의 튜브 대신 두 개의 튜브를 사용함으로써, 공간을 더 차지하지 않으면서도 가열 면적을 두 배로 늘릴 수 있습니다. 이 덕분에 열이 균일하게 분포됩니다. 단일 튜브 램프에서 흔히 발생하는 ‘추운 부분’ 문제도 해결됩니다.
다만 주의해야 할 점은, 이 정도의 높은 열 밀도는 매우 강력하다는 것입니다. 만약 배기 팬이 제대로 작동하지 않으면, 열이 하우징 주변에 축적되어 튜브가 조기에 손상될 수 있습니다. 따라서 스위치를 켜기 전에 반드시 냉각 시스템이 제대로 작동하는지 확인해야 합니다.
납이 없는 재료를 사용하기 위해서…
납이 없는 수지와 솔더는 특정한 온도와 열 프로파일이 필요합니다. IR 경화 방식은 전기를 열로 직접 변환시켜주므로 이러한 조건을 충족시키는 데 최적입니다. 연소 가스도 없고, 이상한 화학 용매도 필요 없습니다.
우리는 이 램프들을 기존의 램프들을 대체할 수 있는 형태로 만들었습니다. 열풍을 사용하는 방식에서 금 도금된 IR 램프로 전환하면 에너지 비용을 크게 줄일 수 있으며, 세계적인 반도체 검증도 더 쉽게 통과할 수 있습니다. 이는 낭비를 줄이고 건조 과정을 더 빠르게 진행할 수 있는 간단한 방법입니다.