암석으로 된 바닥 위에서는 온도 변동이나 서서히 상승하는 온도가 안정적인 공정을 망칠 수 있습니다. 웨이퍼 건조, 소프트 베이크, 하드 베이크 모두 일관된 속도와 정확한 온도 조절이 필요합니다. 우리는 고가의 장비 없이도 이러한 조건을 충족시킬 수 있는 단파 적외선 석영 할로겐 램프를 사용합니다.
핵심은 무엇인가? 우리는 빠르고 직접적인 에너지 전달을 위해 단파 적외선 석영 할로겐 소자를 사용합니다. 반응 시간은 초단위이므로, 얇은 게이트나 저-k 필름의 열 관리에 있어 매우 중요합니다. 웨이퍼 전체에 걸쳐 램프의 출력은 포토레지스트 표면에서 ±0.1°C의 일정한 온도를 유지하도록 조절됩니다. 이를 통해 치명적인 치수 및 측면 각도를 일관되게 유지할 수 있습니다.
램프 본체는 클린룸 환경에 적합하며, 밀폐된 구조와 낮은 가스 방출량을 가진 재질로 만들어져 입자 수를 최소화합니다. 5,000시간 이상 사용해도 출력이 안정적이며, 강도의 변동도 5% 미만입니다. 따라서 램프의 성능이 변하지 않아 공정이 원활하게 진행됩니다.
생산 현장에서의 장점 실용적인 장점이 있습니다. 빠른 베이크 주기 덕분에 처리 속도가 빨라지고 에너지 소비도 줄어듭니다. 정밀한 온도 제어는 포토레지스트의 재작업을 줄여주어 화학물질 사용量과 수율 손실을 줄입니다. 같은 램프를 사용하여 웨이퍼 건조도 가능하므로, 리소그래피 전에 워터마크나 결함을 최소화할 수 있습니다. 교체도 간편하여 예기치 못한 가동 중단을 방지하고 유지보수 계획을 예측할 수 있습니다.
문제없이 작동하도록 하는 요소들 이 램프들은 표준 OEM 램프 하우징에 맞습니다. 주문하기 전에 커넥터 유형, 길이, 전압을 반드시 확인해야 합니다. 최상의 일관성을 위해서는 반사판의 형태를 적절히 조절하고, 램프와 스테이지 사이의 거리를 허용 범위 내로 유지해야 합니다. 석영을 표준적인 클린룸 관리 방식으로 다루어야 합니다. 지문이나 기름은 열점을 만들어 출력을 저하시킵니다. 정격 출력 범위 내에서 사용하면, 매번 일관된 결과를 얻을 수 있습니다.