기계를 가열하는 대신 웨이퍼를 직접 가열해 보세요.
대부분의 표준적인 적외선 램프는 다소 문제가 있습니다. 이러한 램프들은 360도 방향으로 열을 방출하기 때문입니다. 반도체 제조 공정에서는 공간이 매우 좁은데, 이는 큰 문제가 됩니다.
그 열 중 상당 부분은 웨이퍼에 전혀 닿지 않고, 오히려 장비의 내벽에 부딪힙니다. 그 결과, 장비의 특정 부분이 과열되어 작업자를 다치게 하거나 정밀한 부품들이 손상될 수 있습니다. 이는 결코 바람직하지 않습니다.
해결책은 방향성 있는 가열입니다.
단순한 석영관 대신, 특수한 반사체와 코팅을 사용하여 적외선 에너지를 특정 방향으로 전달합니다. 마치 일반 전구 대신 손전등을 사용하는 것과 같습니다. 이렇게 하면 열이 필요한 곳에만 집중되고, 기계의 외부가 거대한 냉각장치처럼 작동하는 것을 막을 수 있습니다.
물론, 세척 공정의 경우는 다릅니다. 습기와 화학물질의 증기가 많이 발생하기 때문입니다. 일반적인 램프를 사용하면 곧 손상되거나 단선될 수 있습니다.
그래서 우리는 방수 씰과 습기에 강한 코팅을 사용합니다. 이렇게 하면 고습도 환경에서도 전기적 문제나 램프의 과도한 손상을 걱정할 필요가 없습니다.
방향성 가열의 장단점에 대해 간단히 설명하자면…
방향성 가열은 훨씬 효율적이지만, 열의 분포 방식이 달라집니다. 에너지가 집중되기 때문에 온도 차이도 훨씬 커집니다.
만약 부품의 형태가 고르지 않거나 초점 거리가 약간 어긋나면, 기판 위에 과열된 부분이 생길 수 있습니다. 그러므로 램프의 위치와 각도를 정확하게 조절해야 합니다.
설치 방법은 간단합니다. 이 장비들은 일반적인 적외선 램프를 대체할 수 있도록 설계되었습니다. 단지 전원 공급 장치가 방향성 램프에 필요한 전력을 공급할 수 있는지 확인하기만 하면 됩니다.