클래스 100 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법 클래스 100 환경에서 작업할 때, 난방이란 단순히 공간을 따뜻하게 만드는 것이 아닙니다. 이는 미세한 입자들과의 싸움입니다. 대부분의 일반적인 난방 장치들은 이러한 환경에서는 문제가 됩니다. 이러한 장치들은 가스를...

청정실의 히터가 문제를 일으키지 않도록 하세요. 청정실에서는 오차의 여지가 전혀 없습니다. 아주 작은 양의 먼지라도 문제가 되지만, 전기적 고장이 발생한다면 그건 재앙입니다. 이러한 곳을 위한 적외선 히터를 제작할 때, 가열 요소도 중요하지만, 진짜 위험은 램프 튜브...

만약 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 이미 그 문제를 잘 알고 있을 것입니다. 먼지 한 톨만 있어도 웨이퍼의 품질이 떨어집니다. 정말 끔찍한 상황이죠. 일반적인 가열 요소들은 안정적으로 작동해야 할 때 오히려 부서지거나 기체가 방출되어 문제를 일으킵니다....

클린룸에서 공기를 가열하는 데 에너지를 낭비하지 마세요. 반도체 클린룸에서 일해본 사람이라면 그 어려움을 잘 알 것입니다. 웨이퍼의 온도를 일정하게 유지하려면 열 손실과 싸워야 합니다. 대부분의 사람들은 대류식 히터를 사용하지만, 문제는 이 히터들이 웨이퍼 주변의 공...