클래스 100 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법
클래스 100 환경에서 작업할 때, 난방이란 단순히 공간을 따뜻하게 만드는 것이 아닙니다. 이는 미세한 입자들과의 싸움입니다.
대부분의 일반적인 난방 장치들은 이러한 환경에서는 문제가 됩니다. 이러한 장치들은 가스를 배출하거나 아주 작은 먼지 조각들을 방출하는데, 이러한 먼지들은 보이지 않지만 실리콘 웨이퍼나 정밀 렌즈를 파괴할 수 있습니다. 이런 문제를 막기 위해 우리는 고순도의 합성 석영 적외선 램프를 사용합니다.
석영이 중요한 이유
우리가 사용하는 석영은 안정성이 뛰어납니다. 온도가 상승해도 가스가 새어 나오지 않습니다.
저렴한 램프들은 보통 붕규산유리나 저품질의 유리를 사용합니다. 하지만 이러한 램프들은 열이 가해지면 쉽게 부서지거나 휘발성 물질을 방출합니다. 우리는 석영 튜브 내의 금속 불순물을 제거하여 ‘열점’이 생기는 것을 막고, 온도가 급격히 변동할 때 튜브가 깨지는 것을 방지합니다.
전력, 열, 그리고 손상 위험
빠른 경화나 건조가 필요하지만 작업 공간이 부족한 경우, 높은 와트수의 램프가 필요합니다. 우리는 작은 크기에서도 높은 전력 밀도를 제공할 수 있는 램프를 사용합니다.
하지만 주의해야 합니다. 2000W 이상의 램프를 좁은 공간에 설치하면 열이 너무 강해집니다. 만약 케이스의 냉각 기능이 충분하지 않다면, 컨트롤 장비가 손상될 수 있습니다. 이는 프로젝트를 실패로 이끄는 원인이 됩니다.
램프가 과열되는 것을 막기 위해 할로겐 가스를 채워넣습니다. 이렇게 하면 증발된 텅스텐이 다시 필라멘트로 돌아가므로, 램프의 수명이 훨씬 길어집니다.
올바른 설치 방법
우리는 R7s나 SK15 커넥터를 사용합니다. 이러한 커넥터들은 단순히 사용을 편리하게 해주는 것이 아니라, 기체가 새어 나오지 않도록 하고 전기적으로도 안정적인 연결을 제공합니다.
청정실에서는 절대로 아크가 발생해서는 안 됩니다. 연결이 느슨해지면 오존과 미세먼지가 생성되어 청정실의 효과가 사라집니다.
와이어 연결 시에는 정밀한 PID 컨트롤러를 사용해야 합니다. 이렇게 하면 목표 온도를 초과하지 않도록 할 수 있습니다. 또 한 가지 팁은, 낮은 전압을 사용해 불량한 연결 상태를 ‘수리’하려고 하지 마세요. 그렇게 하면 램프가 손상됩니다. 정해진 전압을 유지하면 출력이 안정적으로 유지됩니다.