만약 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 이미 그 문제를 잘 알고 있을 것입니다. 먼지 한 톨만 있어도 웨이퍼의 품질이 떨어집니다. 정말 끔찍한 상황이죠. 일반적인 가열 요소들은 안정적으로 작동해야 할 때 오히려 부서지거나 기체가 방출되어 문제를 일으킵니다.
그래서 저희는 고순도의 합성 석영 인파라레드 램프를 사용합니다.
오염과의 싸움 저희는 불순물 함량이 극도로 낮은 융합 석영을 사용합니다. 왜냐하면 고온에서는 저렴한 재료들이 금속 이온을 방출하기 시작하기 때문입니다. 여기서는 금속 코팅이 전혀 없으며, 산화되거나 벗겨져서 제품의 품질을 해치는 일도 없습니다.
그리고 밀봉에 대해서도 말씀드리자면, 램프가 고장나는 경우는 대개 밀봉 부분에서입니다. 저희는 특수한 유리-금속 밀봉 방식을 사용하여 내부의 할로겐 가스가 반드시 튜브 안에 머물도록 합니다. 생산 구역으로 유출되지 않도록 말이죠.
정확한 위치에 열을 전달하는 램프 이 램프는 단파장 인파라레드 스펙트럼을 사용하여 작동합니다. 주변 공기를 따뜻하게 만드는 대신, 열이 직접 기판 속으로 들어갑니다. 이렇게 하면 훨씬 더 정확하고 효과적인 열 전달이 가능합니다.
또한, 작은 공간에 많은 와트 수의 전력을 집중시켜 램프를 컴팩트하게 만듭니다. 하지만 주의할 점은, 이 램프들은 매우 뜨거워진다는 것입니다. 2000W 이상의 전력을 사용할 경우, 케이스의 냉각 시스템이 충분히 강력해야 합니다. 그렇지 않으면 열 센서가 오작동할 수 있습니다.
설치 및 유지보수 저희는 연결부를 간단하게 설계하여 쉽게 설치할 수 있도록 했습니다. R7s나 SK 시리즈의 베이스를 사용하든, 잘 맞습니다. 이것도 중요합니다. 잘 맞지 않으면 전기 아크가 발생하여 오존과 입자가 생성됩니다. 청정실에서는 이런 것은 절대 용납될 수 없습니다.
마지막 팁: 반드시 고온에 견딜 수 있는 프루오로폴리머 케이블을 사용하세요. 일반적인 PVC 케이블을 사용하면 녹아내려 가스가 방출되고, “클래스 100” 상태가 순식간에 사라질 것입니다.
순도 기준을 준수하고 냉각 시스템을 잘 관리한다면, 이 램프들은 수천 번의 작동에도 안정적인 성능을 유지할 것입니다.