Mengapa kita perlu melakukan ujian dielektrik pada pemanas wafer
Apabila wafer dipanaskan pada suhu yang tinggi, perkara terakhir yang kita mahukan ialah berlakunya kebocoran arus elektrik. Sebuah percikan api kecil atau aliran arus yang tidak dijangka boleh memusnahkan keseluruhan kumpulan wafer tersebut dalam masa beberapa saat sahaja. Ini merupakan situasi yang sangat berbahaya.
Itulah sebabnya kita tidak melakukan ujian sampel sahaja. Kita perlu menguji setiap pemanas secara menyeluruh, termasuk ujian ketahanan voltan tinggi dan ujian rintangan isolasi. Tiada pengecualian. Jika pemanas tersebut gagal ujian tersebut, ia tidak akan dihantar keluar.
Ujian ketahanan bahan pemanas
Pemanas wafer perlu bertahan dalam keadaan yang sangat ekstrem. Mereka sentiasa dipanaskan dan disejukkan, yang bermaksud bahan yang digunakan sentiasa mengembang dan mengecut. Over masa, tekanan ini boleh menyebabkan retakan kecil pada bahan seramik atau kuarsa.
Jika lapisan isolasi tersebut rosak, arus elektrik akan meresap ke dalam struktur pemanas. Dalam bilik bersih, ini bukan sekadar masalah teknikal – ia merupakan ancaman keselamatan kepada pekerja, dan juga boleh menyebabkan kerosakan pada peralatan. Kami menggunakan ujian voltan tinggi untuk mengesan kecacatan tersebut lebih awal, agar ia tidak menimbulkan masalah di kilang.
Peraturan “tidak boleh diperbaiki” untuk lapisan isolasi
Kami memeriksa rintangan isolasi untuk memastikan bahawa komponen pemanas benar-benar terpisah daripada struktur badan pemanas yang bersifat konduktif. Jika nilai rintangan yang diperolehi rendah, ia biasanya bermakna bahan tersebut tercemar atau seal pada terminalnya tidak cukup ketat.
Kami memastikan pemanas tersebut mempunyai nilai rintangan yang tinggi, walaupun ia berada pada suhu yang sangat tinggi. Jika pemanas tersebut gagal ujian ini, ia akan dibuang begitu saja. Lapisan dielektrik yang rosak tidak boleh diperbaiki; ia sama ada masih boleh digunakan atau perlu dibuang.
Kompromi kecil demi ketenangan fikiran
Untuk mendapatkan nilai rintangan isolasi yang tinggi, kadangkala kami perlu menggunakan bahan seramik yang lebih tebal atau lapisan pelindung khas. Adakah ini membuatkan pemanas menjadi lebih besar? Ya. Adakah ini menyebabkan masa yang diperlukan untuk memanaskan pemanas menjadi lebih lama? Ya. Namun, sistem yang dihasilkan akan lebih berkualiti dan selamat. Anda hanya perlu mempertimbangkan sedikit kelewatan dalam proses pemanasan semasa menetapkan tetapan PID controller.
Kami akan menghantar laporan ujian untuk nombor siri pemanas tersebut. Dengan cara ini, anda boleh melihat nilai kebocoran arus dan rintangan dengan jelas, dan pastikan semuanya berfungsi dengan baik sebelum menggunakannya.