Di fasiliti pengeluaran yang canggih ini, kita perlu belajar untuk mengatasi masalah-masalah kecil yang mungkin timbul semasa proses pengeluaran. Perubahan suhu sebanyak kurang dari 0.1°C semasa proses pembakaran boleh menyebabkan ketidakkonsistenan pada dimensi wafer, dan akibatnya banyak wafer akan terbuang. Plat pemanas tradisional memerlukan masa yang lama untuk menstabilkan suhu, sedangkan pengering wafer jenis NIR tidak memerlukan masa sebegitu.
Apa yang telah kami bina, dan mengapa ia penting
Kami membina pengering NIR ini menggunakan prinsip pemanasan sinar inframerah dekat. Tujuannya adalah untuk mentransfer tenaga secara langsung ke lapisan fotoresist, dengan cepat. Dengan cara ini, kita dapat mencapai konsistensi suhu sekitar ±0.1°C di seluruh permukaan wafer, sehingga variasi suhu antara wafer-wafer yang berbeza dapat dikawal dengan baik. Pengering ini beroperasi dalam bilik bersih kelas 1–100, tanpa penghasilan zarah-zarah yang berbahaya, seperti yang disahkan melalui pemantauan secara berterusan. Platform ini direka untuk beroperasi 24/7, tanpa gangguan yang tidak dijangka, dan jangka hayatnya boleh mencapai puluhan ribu kitaran.
Mengapa ia sesuai untuk proses litografi
Dalam proses litografi, proses pembakaran lembut dan keras digunakan untuk menentukan viskositi fotoresist, serta untuk mengeluarkan pelarut daripada lapisan tersebut. Dengan pengering NIR ini, suhu pada permukaan wafer dapat dikawal dengan lebih baik, bukan hanya pada permukaan plat pemanas. Kestabilan suhu dapat dikekalkan dari lot pertama hingga lot ke-50. Proses pembakaran menjadi lebih cepat, penggunaan tenaga berkurangan, dan jumlah wafer yang terbuang akibat ketidakkonsistenan suhu juga berkurangan. Ini membolehkan integrasi yang lebih mudah dengan sistem-sistem sedia ada.
Apa yang perlu anda plankan
Pengering NIR memerlukan pandangan langsung ke arah wafer, serta laluan pantulan yang terkawal. Pelbagai jenis penyangga atau alat sokongan yang tidak standard boleh menghalang pandangan ke arah wafer. Anda perlu menggunakan alat khusus untuk memastikan pengering berfungsi dengan baik. Setelah disusun dengan betul, pengering ini akan memberikan prestasi yang konsisten, dengan penyelenggaraan yang minimum. Namun, toleransi susunan alat ini lebih ketat berbanding sistem yang menggunakan sentuhan secara langsung.