Het schoonhouden van uw wafers: hoe we omgaan met intensief IR-verwarming
Laten we eerlijk zijn: wanneer een IR-lamp het begeeft onder zware belasting, is dat een nachtmerrie. Het gaat dan niet alleen om wat stilstand. Er vallen glasstukken en wolfraamfilamenten recht op uw wafers. Eén kapotte lamp betekent dat uw hele lading weg is. We hebben veel tijd besteed aan het bedenken van manieren om dit te voorkomen.
Het geheim zit in de reflector
De meeste mensen zien aluminiumreflectoren alleen als een manier om hitte terug te kaatsen naar het doeloppervlak. Voor ons zijn ze echter een soort veiligheidsnet. We gebruiken aluminium van hoge zuiverheid als fysieke bescherming. Het trucje zit in de berekeningen: we bepalen het brandpunt zo precies dat de lamp nooit echt in contact komt met de wanden van de reflector. Waarom? Omdat zodra er contact is, er hete plekken ontstaan. Hete plekken veroorzaken spanning, en spanning leidt tot een defect. Simpel gezegd.
Omgaan met de hitte
Het gebruik van lampen op maximale vermogen is zwaar voor de kwartsbekleding. De lamp staat onder enorme druk. Om te voorkomen dat er iets breekt, letten we goed op de manier waarop de lampen worden vastgehouden. We gebruiken clips die de spanning verlichten. Hierdoor kan de lamp uitzetten en krimpen wanneer deze heet wordt en afkoelt. Als je een lamp te strak vastmaakt, is het net een tijdbom. De lamp zal zeker beschadigen tijdens een thermische cyclus. Afhankelijk van de beschikbare ruimte, kunnen we ook een beschermende kwartslaag of een speciaal aluminiumgehuis toevoegen. Dit is in feite een soort verzekering. Als een lamp defect raakt, blijven de brokstukken op hun plek. Ze komen nooit in de buurt van uw wafers.
De balans
Het nadeel is dat hoogreflecterend aluminium goed is voor de efficiëntie, maar het is gevoelig. Als uw koelsysteem niet goed genoeg is, kan het metaal vervormen. Als het gehuis te heet wordt, verliest het aluminium zijn sterkte. Het zakt dan in. De oplossing is eenvoudig, maar gemakkelijk over het hoofd te zien. Zorg ervoor dat uw koelventilatoren zijn afgesteld op het werkelijke vermogen van de lamp. Houd de lucht in beweging en het metaal koel, dan blijft uw apparaat stevig.