Het veilig houden van alles wanneer er infraroodwarmte wordt gebruikt voor chemische reiniging
Als je semiconductoren reinigt, weet je hoe gevaarlijk dit kan zijn. Je werkt met chemische dampen die, om eerlijk te zijn, zeer gevaarlijk kunnen zijn als ze in contact komen met een vonk. Het invoegen van een gloeidraad in deze mengstof leidt alleen maar tot een ramp.
Om te voorkomen dat er een explosie optreedt, gebruiken we infraroodlampen die bedekt zijn met goud. Het klinkt luxueus, maar het gaat eigenlijk om één ding: zorgen dat de lamp geen brandhaard wordt.
Waarom het goud en de behuizing belangrijk zijn
Standaard kwartslampen geven warmte overal naartoe af. In een ruimte vol vluchtige dampen is dit een groot probleem. Dit kan ertoe leiden dat bepaalde onderdelen te heet worden of dat er een brand ontstaat.
Door een gouden laag op de achterkant van de lamp aan te brengen, creëren we in feite een spiegel. Alle infraroodenergie wordt dan rechtstreeks naar de chip gestuurd, waar het thuishoort. Hierdoor blijft de achterkant van de lamp koel aan voelen, wat precies gewenst is.
Maar de gouden laag is nog niet alles. We sluiten de lamp op in een explosiebestendige behuizing. Dat vereist sterke dempingen en versterkte sluitingen. Waarom? Omdat als er een lek ontstaat en de dampen in contact komen met een hete lamp, er een brand kan ontstaan. We bouwen deze lampen zo dat dit nooit zal gebeuren.
De uitdagingen
Gouden lampen zijn wel efficiënter en geven meer warmte af, maar ze zijn niet perfect. Ze zijn ook moeilijker te maken. Als de laag niet perfect gelijkmatig is, ontstaan er ‘heette plekken’. Die plekken kunnen ervoor zorgen dat de lamp sneller kapotgaat dan nodig is. Daarom letten we goed op de dikte van de laag. We willen namelijk dat de warmteverdeling gelijkmatig is.
Nog een belangrijk punt: let op de stroomvoorziening. Als er een spanningsschok optreedt, kan dit de kwartslaag beschadigen of de gloeidraad verbreken. In een chemische omgeving is een kapotte lamp niet alleen een probleem voor het onderhoud, maar ook een groot veiligheidsrisico.
Inzetten in je proces
We hebben deze lampen ontworpen als vervanging voor de bestaande lampen die worden gebruikt voor het reinigen en drogen van chips. Omdat we de energie weerkaatsen in plaats van hem te verspillen, heb je minder energie nodig om de gewenste temperaturen te bereiken. Bovendien wordt de koelsysteem van je faciliteit minder belast. Het is dus een slimme manier om met warmte om te gaan.