Op de productieafdeling is het proces van het verhitten van de fotorezist allesbehalve passief. Een afwijking van 2°C tijdens het zachte verhitten zorgt voor verschillen in temperatuur over het hele productieproces. Onregelmatigheden tijdens het harde verhiten leiden tot problemen. Bovendien kunnen deeltjes die worden gegenereerd tijdens het thermische proces de opbrengst verminderen, nog voordat de lithografieprocedure is afgerond. Er is dus behoefte aan een warmtestroom die voorspelbaar, uniform en snel is.
Wat technisch gezien belangrijk is: Wij gebruiken infrarode stralers die een uniforme warmtestroom geven, zodat de temperatuur op het wafer binnen ±0,1°C blijft. De reactietijd is kort: de temperatuur stijgt en daalt binnen milliseconden. Hierdoor blijft de temperatuur elke keer hetzelfde, ongeacht het aantal productiesessies. De opbrengst blijft stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met minder dan 5% afwijking in lumen- en temperatuurniveaus. Het kwartsomhulsel en de speciaal ontworpen filamentstructuur zorgen ervoor dat er weinig deeltjes ontstaan, wat essentieel is voor een schone omgeving in klasse 1–100.
Waarom dit belangrijk is voor de lithografie: De infrarode straler bereikt de fotorezist rechtstreeks, zonder dat de wanden van de kamer worden opgewarmd. Hierdoor verdwijnen eventuele temperatuurverschillen. Het zachte verhiten zorgt voor een betere uniformiteit van de laag op het wafer. Het harde verhiten zorgt voor een schone afwerking, zonder dat er oplosmiddelen achterblijven. Dit verminderd defecten en verbetert de selectiviteit bij het eten van het materiaal. Het resultaat is een hogere opbrengst per productiecyclus, minder herwerkingen en minder energieverbruik.
Belangrijk om te onthouden: Infrarode stralers werken alleen als er sprake is van een rechte lijn tussen de straler en het object dat wordt verhit. De optische alignering en de afstand tussen de straler en het object moeten precies volgens specificaties zijn ingesteld, anders zal de uniformiteit verminderen. Integrators moeten controleren of de stralers geschikt zijn voor hun specifieke apparatuur. Zorg ook voor voldoende isolatie om te voorkomen dat de modules rondom de verhittingsinstallatie beschadigen.