Op de lithografieafdeling wordt de juiste temperatuur bereikt om het profiel van de fotorezerve vast te leggen. Als de temperatuur zelfs maar twee graden afwijkt, leidt dat tot variaties in de kwaliteit van de producten en tot ongewenste effecten. De warmtebron moet precies overeenkomen met de chemische eigenschappen van de fotorezerve: geen te hoge of te lage temperaturen. Steeds moet er een perfecte thermische profilering worden behaald.
Wat belangrijk is onder de motorkap We gebruiken infraroodlampen die kortegolflengte-energie uitstralen, afgestemd op de manier waarop de fotoreserve deze energie opneemt. De golflengte van het licht valt precies binnen het bereik waar de fotoreserve het beste reageert. Op het oppervlak van de plaat blijft de temperatuur gelijk op ±0,1°C. De herhaalbaarheid van de temperatuurvariaties ligt tussen ±0,5°C per batch. De kwartsomhulling en de reflectoren zijn zo geconfigureerd dat er minimale hoeveelheden deeltjes vrijkomen. Het systeem is geschikt voor gebruik in een schone ruimte van klasse 1–100. De uitgangsintensiteit blijft stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met een variantie van minder dan 5%.
Dit is waarom het systeem goed werkt in de productie. De lampen werken 24/7 zonder onderbrekingen, zodat het proces optimaal kan verlopen. Ze bereiken de gewenste temperatuur snel en houden deze vast, waardoor de energieverbruik wordt verminderd. Hierdoor ontstaan er minder defecte producten en is de controle over de productkwaliteit beter. Omdat het thermische profiel consistent is, kan het proces sneller worden gevalideerd en blijft de kwaliteit constant.
Enkele praktische tips Tijdens de installatie moet de lamp worden aangepast aan de spanning, de aansluitingen en de afmetingen van de apparatuur. De uitgangsintensiteit is gevoelig voor de afstand tussen de lamp en het substraat. Daarom geven we richtwaarden voor de afstand en raden we aan om de pyrometer regelmatig opnieuw te kalibreren. Voor deep-UV-fotorezerverven moet u samen met de leverancier controleren of de golflengte overeenkomt met de vereisten. Plan ook van tevoren hoe de koeling en EMI-beheersing moet worden geregeld, zodat de hoeveelheid deeltjes en de interferentie binnen de vereiste grenzen blijven.