Waarom we zo veel aandacht besteden aan de testen van de isolatie van onze waferverwarmers
Als je wafern bij hoge temperaturen gebruikt, is een elektrisch lek het laatste wat je nodig hebt. Eén kleine vonk of een onbedoelde stroomstoot kan al een hele partij silicium in seconden tijd vernietigen. Het is een nachtmerriescenario.
Daarom voeren we geen ‘proeftests’ uit. We testen niet alleen een paar exemplaren en hopen op het beste. Elke verwarmer die onze fabriek verlaat, wordt grondig getest op zijn weerstand tegen hoge spanningen en op de kwaliteit van de isolatie. Er zijn geen uitzonderingen. Als een verwarmer deze tests niet doorstaat, wordt hij niet geleverd.
De harde eisen voor de isolatie
Waferverwarmers moeten constant heet en koud worden, waardoor de materialen voortdurend uitzetten en samentrekken. Na verloop van tijd kunnen deze spanningen kleine scheuren in het keramische of kwartsmateriaal veroorzaken.
Als de isolatie beschadigd raakt, kan er stroom het apparaat binnendringen. In een schone ruimte is dit niet alleen een technisch probleem, maar ook een veiligheidsrisico voor het personeel en een oorzaak van defecten aan de apparaten. We gebruiken hoge-spanningstests om deze verborgen gebreken al vroeg te ontdekken, zodat ze je niet op de productielijn kunnen verrassen.
Regels voor defecte isolatie
We controleren de isolatiekracht om er zeker van te zijn dat de verwarmer volledig geïsoleerd is van het geëlektrificeerde chassis. Als we een lage waarde zien, betekent dit meestal dat het materiaal vervuild is of dat de aansluitingen niet goed gesloten zijn.
We zorgen ervoor dat de verwarmers zelfs bij hoge temperaturen nog steeds een hoge waarde van megaohm hebben. Als een verwarmer deze test niet doorstaat, wordt hij weggegooid. Je kunt een beschadigde isolatielaag niet zomaar repareren. Of het materiaal is intact, of het is waardeloos.
Een kleine prijs voor meer zekerheid
Om deze hoge isolatiewaarden te bereiken, moeten we soms dikker keramiek of speciale coatings gebruiken. Doet dit de verwarmer iets groter worden? Ja. Neemt dit ook wat meer tijd in beslag om de verwarmer op temperatuur te brengen? Zeker. Maar je krijgt dan wel een apparaat dat zeer betrouwbaar en veilig is. Houd rekening met deze kleine vertraging wanneer je de PID-regelaars instelt.
We sturen je de testrapporten voor je specifieke serienummer. Hierdoor kun je zelf zien wat de exacte waarden van de lekkage en de isolatiekracht zijn. Op deze manier weet je zeker dat alles in orde is voordat je de verwarmer in gebruik neemt.