Voorkom dat een kapotte lamp je hele batch verwoest
Tijdens het drogen van waferbladen onder hoge belasting kan het gebeuren dat een lamp kapotgaat. Dat is een echte nachtmerrie. Het gaat niet alleen om de stilstand die dit met zich meebrengt. Stel je voor dat een kwartslamp explodeert: glasscherven en halogengas vallen rechtstreeks op de siliconenbladen. Hierdoor is je batch verwoest en is je schone ruimte in chaos. Het is een kostbaar en frustrerend probleem.
Daarom hebben we onze reflectoren ontworpen als een soort fysieke veiligheidsnet.
Hoe de reflector werkt
We gebruiken een reflector gemaakt van hoogzuiver aluminium. Deze reflector doet twee dingen tegelijkertijd: eerst stuurt hij de infrarode straling precies waar deze nodig is. Ten tweede fungeert de reflector als een soort ‘kooi’. De behuizing rondom de lamp zorgt er namelijk voor dat de meeste glasscherven worden opgevangen. In plaats van dat de scherven over de waferbladen terechtkomen, blijft het probleem beperkt tot één plek. Hierdoor wordt het veel gemakkelijker om met het proces om te gaan.
Omgaan met de hitte
Lampen met hoge vermogens genereren grote warmtestromen. Als deze hitte terugkaatst naar de uiteinden van de lamp, kunnen de afsluitingen beschadigen. We hebben dit al meegemaakt: slechte warmteafvoer bij de verbindingen is meestal de oorzaak van een vroegtijdige kapotging van de lamp.
Om dit te voorkomen, gebruiken we een gepolijst aluminium of vergulde afwerking. Dit zorgt ervoor dat de hitte weg wordt gehaald van de elektroden, zodat de lamp langer kan werken.
De nadelen en hoe ermee om te gaan
Het nadeel is dat deze reflector een beetje afstand creëert tussen het filament en de waferbladen. Hierdoor zal de intensiteit van het licht iets minder zijn dan bij een gewone lamp. Je moet misschien de sterkte van de lamp iets verhogen of de waferbladen wat langer laten drogen om toch het gewenste resultaat te bereiken. Eerlijk gezegd is dit een redelijke prijs voor de extra zekerheid die het biedt. Een paar extra seconden drogen is niets vergeleken met de kosten van het weggooien van een hele batch waferbladen.
Een laatste tip: houd de koelfans in de gaten. Zorg ervoor dat ze goed zijn aangesloten en voldoende lucht bewegen. Als de behuizing rondom de lamp te heet wordt, kan deze vervormen. Dan doet de veiligheidsreflector zijn werk niet meer. Houd de luchtstroom in stand, dan is alles in orde.