Stop met het verspillen van warmte: een betere manier om je wafers op te warmen
Hier is het probleem met standaard infraroodlampen: ze stralen warmte in alle richtingen uit.
Wanneer je werkt in een halfgeleiderkamer, is dat een nachtmerrie. Je hebt al die dure apparatuur, en in plaats van dat de energie de wafer bereikt, gaat er een groot deel ervan recht tegen de binnenwanden. Hierdoor ontstaan ‘hete wanden’, wat niet alleen gevaarlijk is voor je gevoelige onderdelen, maar ook voor iedereen die de machine bedient.
De warmte op de juiste plek brengen
We lossen dit op door over te stappen op gerichte infraroodtechnologie. Stel je het dan niet voor als een gewone lamp, maar eerder als een gefocuste straal. We gebruiken reflectoren en speciale coatingen om de fotonen precies waar ze nodig zijn naartoe te sturen.
Door de hoek te beperken, concentreren we de energie precies op het oppervlak van de wafer. De ‘onzichtbare’ warmte die anders in de behuizing terechtkomt, verdwijnt gewoon.
Het resultaat? Je wafers bereiken de gewenste temperatuur veel sneller, terwijl de wanden van de apparatuur koel blijven. Het is een veel efficiëntere manier van werken.
Het evenwicht tussen vermogen en afstand
Het bepalen van de juiste plaats voor de lamp vereist altijd wat afweging.
Als je hem te dicht plaatst, krijg je problemen: er kunnen hete punten ontstaan, of zelfs kan het oppervlak van de wafer beschadigen. Maar als je hem te ver weg plaatst, verlies je de benodigde intensiteit voor een snelle opwarmingsfase.
Meestal bepalen we dit door te kijken naar het vermogen van de lamp en de afstand ertussen. Een lamp met hoge wattage is ideaal, omdat je dan een grotere veiligheidsafstand kunt houden zonder het vermogen te verliezen.
Let wel: wanneer je het vermogen verhoogt, hebben je kabels en stroomvoorziening dit te verduren. Zorg ervoor dat je kabels de piekspanning aankunnen, anders kun je te maken krijgen met problemen met de spanning.
Wat dit betekent voor jouw kamer
Het mooiste is dat je niet langer afhankelijk hoeft te zijn van die grote, zware koelsystemen voor de wanden van je kamer. Je bespaart ruimte en moet minder geld uitgeven aan koeling.
Een tip: houd je reflectoren schoon. Als er vuil op komt te zitten, begint de straal te verspreiden, en dan komen die hete wanden weer terug om je lastig te vallen.