Na stanowisku do litografii, w fazie cieplnego obróbki, ustala się właściwy profil termiczny fotorezystu. Jeśli temperatura będzie o dwa stopnie inne, to pojawią się problemy z jakością produktu. Źródło ciepła musi być dostosowane do charakterystyk chemicznych fotorezystu – bez żadnych przeskoków w wartościach temperatury. Musi panować idealny profil termiczny, za każdym razem.
Co jest ważne pod spodem? Używamy lamp infraczerwonych, które emitują energię o krótkich falach, dostosowaną do sposobu absorpcji energii przez fotorezyst. Spektrum emisji jest zoptymalizowane tak, aby odpowiadać temu, jak reaguje fotorezyst. Na powierzchni obrobki temperatura pozostaje na poziomie ±0,1°C, a precyzja ustawienia temperatury wynosi ±0,5°C pomiędzy poszczególnymi partiami produktu. Konstrukcja kwarcowego otoczenia i reflektorów sprawia, że ilość cząstek jest minimalna. System nadaje się do pracy w warunkach sal czystych klasy 1–100. Jakość pracy lampy jest stabilna przez ponad 5 000 godzin, przy zmianie intensywności światła mniejszej niż 5%.
To właśnie sprawia, że ten system nadaje się do produkcji na dużą skalę. Lampy pracują 24/7 bez przerw, więc proces obróbki fotorezystu przebiega sprawnie. Ustawienie temperatury następuje w ciągu kilku sekund, a potem temperatura pozostaje stała, dzięki czemu zużycie energii jest niskie. W rezultacie mniej jest odpadów, mniej konieczności ponawiania procesu, a kontrola szerokości linii jest dokładna. Ponieważ profil termiczny jest spójny pomiędzy poszczególnymi urządzeniami, proces kalibracji jest szybszy, a przenoszenie procesu pomiędzy urządzeniami jest możliwe.
Kilka praktycznych uwag: Podczas instalacji należy dostosować lampę do napięcia, konektora oraz rozmiarów otworów w urządzeniu. Intensywność światła zależy od odległości między lampą a podłożem, dlatego określamy dopuszczalne wartości tej odległości i zalecamy regularną kalibrację pirometru. W przypadku fotorezystów działających w zakresie głębokiego UV należy sprawdzić dopasowanie spektrum z dostawcą – niektóre formulacje wymagają węższego pasma częstotliwości. Trzeba wcześniej zaplanować system chłodzenia oraz układ kierowania falami elektromagnetycznymi, aby ilość cząstek i zakłócenia były w normie.