ในกระบวนการผลิตที่มีความยาว 300 มิลลิเมตร การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 0.5°C ระหว่างขั้นตอนการอบวัสดุโฟโต์เรซิสต์นั้น ไม่เพียงแต่ส่งผลต่อข้อมูลที่ได้จากการวัดเท่านั้น แต่ยังส่งผลให้ค่ามิติสำคัญเปลี่ยนไปเพียงไม่กี่นาโนเมตร ซึ่งส่งผลต่อประสิทธิภาพการผลิตโดยตรง ในกระบวนการลิโธกราฟีและการประมวลผลวัสดุโฟโต์เรซิสต์ อุณหภูมิไม่ใช่เพียงแค่ปัจจัยที่สามารถปรับได้ตามต้องการ แต่เป็นส่วนสำคัญของกระบวนการผลิตเลยทีเดียว
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค เราสร้างระบบควบคุมอุณหภูมิโดยใช้อุปกรณ์ทำความร้อนที่ไม่มีฮาโลเจน และมีประสิทธิภาพสูงในการใช้งานในช่วงแสงอินฟราเรด โดยมีการปรับแต่งให้มีความสม่ำเสมอของอุณหภูมิบนพื้นผิวที่อบวัสดุอยู่ในช่วง ±0.1°C ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิระหว่างแต่ละชุดวัสดุอยู่ที่ ≤±0.2°C ดังนั้น โปรไฟล์การอบวัสดุจึงยังคงสม่ำเสมอแม้ว่าสภาพแวดล้อมรอบข้างจะเปลี่ยนแปลงไปก็ตาม
แพลตฟอร์มนี้สามารถใช้งานได้ในห้องสะอาดทุกระดับ ตั้งแต่ระดับ Class 1 ถึง Class 100 โดยมีการเลือกวัสดุและอุปกรณ์ปิดผนึกที่เหมาะสม เพื่อให้ไม่มีฝุ่นเกิดขึ้นระหว่างการทำงาน ความน่าเชื่อถือของระบบนี้อยู่ที่การทำงานต่อเนื่อง 24/7 โดยไม่มีเวลาหยุดทำงานโดยไม่คาดคิด พร้อมด้วยระบบวินิจฉัยล่วงหน้าที่ช่วยระบุปัญหาเกี่ยวกับอุณหภูมิและสภาพของหลอดไฟก่อนที่จะส่งผลต่อวัสดุที่อบอยู่
เหตุใดระบบนี้จึงมีประโยชน์ในการผลิตจริง อุณหภูมิมีความเกี่ยวข้องอย่างใกล้ชิดกับประสิทธิภาพของวัสดุโฟโต์เรซิสต์ ไม่ว่าจะเป็นการไหลของวัสดุ การกำจัดตัวทำละลาย หรือการยึดเกาะของวัสดุกับพื้นผิว ทั้งหมดนี้ล้วนขึ้นอยู่กับความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ ความสม่ำเสมอที่สูงขึ้นจะช่วยลดข้อบกพร่องที่ขอบพื้นผิว และช่วยให้สามารถควบคุมค่า CD ได้ดีขึ้น ซึ่งจะช่วยลดเวลาในการทดสอบวัสดุและลดปริมาณวัสดุที่เสียหาย
การควบคุมอุณหภูมิที่รวดเร็ว ร่วมกับการทำงานที่มีความเสถียร จะช่วยลดการใช้พลังงานและยืดระยะเวลาการบำรุงรักษาออกไป ผลลัพธ์ที่ได้คือผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพสม่ำเสมอ โปรไฟล์การอบวัสดุที่สามารถคาดเดาได้ และลดโอกาสที่จะเกิดข้อผิดพลาดที่ทำให้ต้องหยุดกระบวนการผลิตได้
สิ่งที่คุณต้องเตรียมไว้ อุปกรณ์เหล่านี้ไม่ใช่อุปกรณ์ที่สามารถใช้งานได้ทันที แต่ต้องมีระบบจ่ายไฟที่เหมาะสม และระบบควบคุมสัญญาณรบกวน เพื่อรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ นอกจากนี้ อุปกรณ์เหล่านี้ยังต้องเหมาะสมกับโครงสร้างของห้องอบ และระบบระบายอากาศด้วย
ควรจัดเวลาสำหรับการปรับแต่งโปรไฟล์อุณหภูมิให้เหมาะสมกับวัสดุโฟโต้เรซิสต์ที่ใช้ หลังจากปรับแต่งเสร็จ ระบบจะสามารถให้ผลลัพธ์การอบวัสดุที่มีความสม่ำเสมอได้ แต่ก็ต่อเมื่ออินเตอร์เฟซและอุปกรณ์ต่างๆ ถูกติดตั้งในระดับความแม่นยำเดียวกันกับโมดูลทำความร้อนเท่านั้น