ในกระบวนการผลิตที่มีความยาว 300 มิลลิเมตร การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 0.5°C ระหว่างขั้นตอนการอบวัสดุโฟโต์เรซิสต์นั้น...

บนพื้นโรงงาน การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอบเพียงครึ่งองศาไม่ใช่เรื่องเล็ก มันหมายถึงแผ่นเวเฟอร์ที่เสีย ความหนาของ photoresist ที่เปลี่ยนแปลงออกนอกสเปค...