ในโรงงานผลิตชิป คุณจะได้เรียนรู้วิธีการจัดการกับปัญหาเล็กๆ น้อยๆ ต่างๆ การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 0.1 องศาเซลเซียสในระหว่างขั้นตอนการอบชิป ก็อาจส่งผลให้ค่าความแม่นยำของขนาดชิปเปลี่ยนไป และทำให้ชิปจำนวนมากเสียหายได้ หม้ออบแบบดั้งเดิมมีข้อจำกัดในการจัดการกับความเฉื่อยทางความร้อน แต่เครื่องอบชิปแบบ NIR ไม่มีข้อจำกัดดังกล่าว
สิ่งที่เราสร้างขึ้น และเหตุใดมันถึงมีความสำคัญ
เราสร้างเครื่องอบชิปแบบ NIR ขึ้นมาโดยใช้หลักการการให้ความร้อนแบบอินฟราเรด โดยจุดมุ่งหมายคือการถ่ายโอนพลังงานไปยังชั้นฟอโตเรซิสต์โดยตรงและอย่างรวดเร็ว วิธีนี้ช่วยให้ค่าอุณหภูมิของชิปมีความสม่ำเสมออยู่ในช่วง ±0.1 องศาเซลเซียสตลอดกระบวนการอบ ซึ่งช่วยให้ความแปรปรวนภายในชุดผลิตต่างๆ อยู่ในขอบเขตที่สามารถควบคุมได้ เครื่องนี้สามารถทำงานได้ในห้องที่มีมาตรฐานความสะอาดระดับ Class 1–100 โดยไม่มีการก่อให้เกิดอนุภาคใดๆ ซึ่งสามารถตรวจสอบได้จากการตรวจสอบในสถานที่จริง เครื่องนี้สามารถทำงานได้ตลอด 24/7 โดยไม่มีการหยุดทำงานโดยไม่ได้กำหนดไว้ และมีอายุการใช้งานหลายหมื่นครั้ง
เหตุใดมันจึงเหมาะกับกระบวนการผลิตชิป
ในกระบวนการผลิตชิป ขั้นตอนการอบชิปมีผลต่อความหนืดของฟอโตเรซิสต์ และยังมีผลต่อการดูดซับตัวทำละลายออกมา รวมถึงยังมีผลต่อรูปร่างของผนังด้านข้างของชิปด้วย เครื่องอบชิปแบบ NIR ช่วยให้อุณหภูมิที่พื้นผิวชิปมีความสม่ำเสมอ ไม่ใช่ที่แผ่นอบเท่านั้น ดังนั้นค่าอุณหภูมิจึงมีความสม่ำเสมอตั้งแต่ชุดผลิตแรกจนถึงชุดผลิตที่ 50
นอกจากนี้ ยังช่วยให้ขั้นตอนการอบชิปสั้นลง ใช้พลังงานน้อยลง และลดจำนวนชิปที่เสียหายจากปัญหาความไม่สม่ำเสมอของอุณหภูมิ ทำให้กระบวนการผลิตมีความยืดหยุ่นมากขึ้น และสามารถนำมาใช้ร่วมกับกระบวนการผลิตที่มีอยู่ได้อย่างง่ายดาย
สิ่งที่คุณต้องเตรียมไว้
เครื่องอบชิปแบบ NIR ต้องการมุมมองที่ตรงไปยังชิป และต้องมีเส้นทางการสะท้อนแสงที่สามารถควบคุมได้ ถาดหรืออุปกรณ์ที่ใช้รองชิปอาจบดบังแสงได้ ดังนั้นควรเตรียมอุปกรณ์ที่เหมาะสมไว้ และจัดวางให้อยู่ในตำแหน่งที่เหมาะสมกับระบบการผลิตของคุณ
เมื่ออุปกรณ์ถูกจัดวางในตำแหน่งที่เหมาะสมแล้ว เครื่องอบชิปก็จะสามารถทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ โดยมีการบำรุงรักษาเพียงเล็กน้อยเท่านั้น แต่ความแม่นยำในการจัดวางอุปกรณ์นั้นจะสูงกว่าระบบที่ใช้การสัมผัสโดยตรง