เครื่องทำให้วงจรเซ็นเซอร์ MEMS แห้ง

การเพิ่มประสิทธิภาพการผลิตไฟฟ้าในกระบวนการอบแห้งวัสดุ MEMS โดยใช้เครื่องทำความร้อนที่มีชั้นทองคำเคลือบ...