300 mm boyutundaki hatlarda, fotoresistin pişirilmesi sırasında meydana gelen 0,5°C’lik bir sıcaklık değişimi, sadece grafiklerde görülmekle kalmaz; aynı zamanda kritik ölçümleri nanometre cinsinden etkiler. Bu sıcaklık değişimi ise doğrudan verim kaybına yol açar. Litografide ve fotoresist işlemlerinde sıcaklık, göz ardı edilebilecek bir faktör değildir; bu, sürecin kendisidir.
Teknik olarak önemli olanlar
Termal alt sistemimizi, halojen içermeyen, NIR ışınlarına uyumlu kuvars ısıtıcı elemanlar üzerine kuruyoruz. Bu elemanlar, pişirme yüzeyinde ±0,1°C aralığında tutarlılık sağlayacak şekilde ayarlanmıştır. Parti başına tekrarlanabilirlik değeri ise ≤±0,2°C’dur; böylece çevresel koşullar değişse bile yumuşak ve sert pişirme işlemleri sabit kalır.
Bu platform, 1. sınıftan 100. sınıfa kadar olan temiz oda koşullarına uygundur. Malzemeler ve contalar, düzenli çalışma sırasında parçacık oluşumunu sıfıra indirmek için özel olarak seçilmiştir. Gerçek güvenilirlik ölçütü ise kesintisiz çalışma süresidir: 7/24 kesintisiz çalışma ve lambanın yaşlanması veya termal değişikliklerin wafer üzerinde etkisini göstermeden önce bunları tespit eden öngörüsel teşhis sistemleri sayesinde bu mümkün olur.
Neden bu sistem gerçek üretimde kullanılır?
Termal durum, fotoresistin performansıyla doğrudan ilişkilidir. Fotoresistin akışı, çözücülerin uzaklaştırılması ve yapışma özellikleri, pişirme sürecinin stabilitesine bağlıdır. Daha yüksek tutarlılık, alan kenarlarındaki kusurları azaltır ve wafer genelinde CD kontrolünü iyileştirir. Bu da kalifikasyon sürelerini kısaltır ve atık miktarını azaltır.
Hızlı sıcaklık ayarı ve stabil çalışma, enerji tüketimini azaltır ve bakım aralıklarını uzatır. Sonuç olarak, tutarlı pişirme profilleri, tekrarlanabilir film özellikleri ve hattın durdurulmasını gerektiren durumların azalması elde edilir.
Planlamanız gerekenler
Bu cihazlar doğrudan kullanılamaz. Sıcaklık stabilitesini korumak için özel bir güç kaynağı ve EMI kontrollü kablolar gereklidir. Ayrıca, cihazların sizin özel chamber geometrinize ve boşaltım sistemlerine uyumlu olması gerekir.
Termal profilin fotoresist üstüne göre ayarlanabilmesi için kısa bir kurulum süresi gereklidir. Ayarlandıktan sonra sistem istikrarlı pişirme işlemleri sağlar – ancak bu, arayüzlerin ve destek sistemlerinin ısıtma modülüyle aynı toleranslarda kurulmuş olması koşuluyla mümkündür.