300 mm boyutundaki hatlarda, fotoresistin pişirilmesi sırasında meydana gelen 0,5°C’lik bir sıcaklık değişimi, sadece grafiklerde görülmekle kalmaz;...

On fabrika katında, pişirme sıcaklığındaki yarım derecelik bir sapma küçük bir fark değildir. Bu, kaybedilen bir wafer, spesifikasyon dışına çıkan...