Чому ми відходимо від використання гарячого повітря у процесі обробки напівпровідників
Більшість ліній з переробки напівпровідників досі використовують циркуляцію гарячого повітря для висушування та нагріву матеріалів. Це старий спосіб, і, чесно кажучи, він є досить неефективним.
Повітря є поганим провідником тепла. Щоб досягти потрібної температури пластини, необхідно нагріти всю камеру. Це схоже на спробу нагріти одну лише зернятко гороху шляхом нагріву всієї кухні. Це призводить до значних втрат енергії та уповільнення процесу.
Час – це головне
Саме тут на сцену виходить інфрачервоне випромінювання. Замість використання повітря як посередника, інфрачервоне випромінювання передає енергію безпосередньо на матеріал.
Це дуже швидко. Фотони потрапляють на матеріал, молекули починають вібрувати, і температура піднімається майже миттєво.
У складних процесах обробки це справжній порятунок. Якщо зараз для нагріву потрібно 10 хвилин у конвекційній печі, то з використанням інфрачервоного випромінювання цей процес може скоротитися до кількох секунд.
Більше простору, менше обладнання
Якщо відмовитися від використання повітря, можна зменшити розміри обладнання. Більше не потрібні великі вентилятори чи товсті ізольовані трубопроводи. Апарати стають меншими, що означає більше простору на підлозі.
Крім того, можна точково нагрівати певну ділянку пластини, не нагріваючи решту камери.
Які є недоліки?
Інфрачервоне випромінювання – це не чарівна паличка. Воно може ефективно працювати лише тоді, коли може „бачити“ ціль. Якщо ваші деталі мають складну форму чи глибокі отвори, випромінювання не буде доходити до цих місць. Тоді все одно потрібен якийсь додатковий джерело тепла чи спеціальні пристрої для рівномірного нагріву.
Ще один недолік: лампи з високою інтенсивністю випромінювання виділяють багато тепла. Якщо не правильно організувати систему охолодження, це може пошкодити датчики та проводку.
Але якщо основною проблемою є тривалий час обробки, то інфрачервоне випромінювання є ідеальним рішенням. Воно перетворює повільний та нудний процес нагріву на швидкий та ефективний процес.