Як запобігти пошкодженню всіх вафер через несправність лампи
Під час процедури високонавантаженої обробки вафер несправність лампи є справжнім кошмаром. Йдеться не лише про перерву у роботі. Уявіть собі, що кварцова лампа розбивається – уламки скла та галогенний газ потрапляють прямо на поверхню кремнію. В результаті ваші вафери будуть зіпсовані, а чистий приміщення – у жахливому стані. Це дуже дорога та прикра ситуація.
Саме тому ми створили спеціальні рефлектори, які функціонують як фізичний захист.
Як саме працює цей захисний елемент
Ми використовуємо рефлектори з високочистого алюмінію, які виконують дві функції одночасно. По-перше, вони направляють інфрачервоне випромінювання саме туди, куди потрібно. По-друге, вони слугують своєрідною „кліткою“, яка утримує уламки. Корпус рефлектора розроблений так, щоб огортати лампу. Якщо кварцова оболонка лампи пошкоджується, рефлектор утримує більшість уламків. Таким чином уникається катастрофічних наслідків для вафер.
Як боротися з теплом
Лампи великої потужності створюють сильні температурні перепади. Якщо тепло повертається назад до електродів лампи, запобіжники можуть пошкодитися. Ми бачили, що погана система відводу тепла є причиною передчасного зносу лампи. Щоб уникнути цього, ми використовуємо алюмінієві чи позолочені елементи, які відводять тепло від електродів та допомагають лампі працювати довше.
Компроміси та як з ними боротися
Через наявність рефлектора між філаментом та ваферами з’являється певна відстань. Це може призвести до того, що інтенсивність випромінювання буде меншою, ніж у лампі без рефлектора. Ймовірно, доведеться трохи підвищити потужність лампи чи збільшити час обробки вафер. Але це цілком прийнятний компроміс – кілька додаткових секунд обробки не є проблемою порівняно з витратами на зіпсовані вафери.
Остання порада: стежте за роботою вентиляторів охолодження. Переконайтеся, що вони правильно підключені та ефективно пропускають повітря. Якщо корпус рефлектора надто нагрівається, він може деформуватися, і тоді захисний елемент вже не буде ефективним. Достатньо лише забезпечити належний потік повітря.