پتھریلے فرش پر، درجہ حرارت میں تغیر یا آہستہ وار گرم ہونے کی وجہ سے وہ عمل خراب ہو سکتا ہے جسے مستحکم رکھنا ضروری ہے۔ ویفر کو خشک کرنے، نرم بیکنگ اور سخت بیکنگ کے لئے ایسی حرارت کی ضرورت ہے جو مستقل، تیز اور صاف ہو۔ ہم شارٹ-ویو انفراریڈ کوارٹز ہیلوجن بلب استعمال کرتے ہیں؛ اس سے حرارت کنٹرول ممکن ہو جاتا ہے، اور اس کے لئے زیادہ لاگت بھی نہیں آتی۔
کون سی چیزیں اہم ہیں؟
ہم شارٹ-ویو انفراریڈ کوارٹز ہیلوجن بلب استعمال کرتے ہیں تاکہ تیز رفتاری سے توانائی منتقل ہو سکے۔ ردِعمل صرف چند سیکنڈوں میں ہوتا ہے، اس لئے درجہ حرارت کا کنٹرول بہترین ہوتا ہے۔ یہ بات بہت اہم ہے، خاص طور پر جب پتلی پرتوں اور کم-K فلموں کی حفاظت کی بات آتی ہے۔ ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کو ±0.1°C کے دائرہ میں رکھا جاتا ہے، تاکہ اہم ابعاد اور سائیڈ والز کا زاویہ مستحکم رہے۔
بلب کا جسم کلاس 1–100 کے کلین روم کے معیارات کے مطابق ہے؛ اس کے سرے بند ہوتے ہیں، اور اس میں استعمال ہونے والے مواد سے ذرات کی تعداد کم رہتی ہے۔ بلب 5,000 گھنٹوں تک مستحکم رہتا ہے، اور اس کی شدت میں 5% سے کم کمی ہوتی ہے؛ اس طرح پروسیس میں کوئی تغیر نہیں آتا۔
پیداواری عمل میں اس کی اہمیت کیا ہے؟
اس کے فوائد عملی ہیں۔ تیز رفتار بیکنگ سے پروڈکشن کی رفتار بڑھتی ہے، اور توانائی کی کھپت کم ہوتی ہے۔ درجہ حرارت کا بہترین کنٹرول سے فوٹوریسسٹ کی دوبارہ پروسیسنگ کی ضرورت نہیں پڑتی، جس سے کیمیکلوں کی کھپت اور پروڈکشن میں نقصان کم ہوتا ہے۔ یہی بلب ویفر کو خشک کرنے میں بھی مدد کرتا ہے، جس سے لیتھوگرافی سے پہلے پانی کے نشانات اور دیگر نقائص کم ہو جاتے ہیں۔ بلب کو تبدیل کرنا بھی آسان ہے، جس سے غیرمتوقع بندشوں سے بچا جا سکتا ہے، اور دیکھ بھال کا عمل بھی قابل پیشن گوئی رہتا ہے۔
کون سی چیزیں اسے مشکلات سے بچاتی ہیں؟
یہ بلب معیاری OEM بلب ہاؤسنگز میں فٹ ہوتے ہیں۔ آرڈر دینے سے پہلے کنکٹر کی قسم، لمبائی اور وولٹیج کی تصدیق ضرور کریں۔ بہترین یکسانیت کے لئے، ریفلیکٹر کی ساخت کو مناسب رکھیں، اور بلب اور اسٹیج کے درمیان فاصلے کو مناسب حد میں رکھیں۔ کوارٹز کی دیکھ بھال کے لئے معیاری کلین روم کے اصولوں کی پابندی کریں؛ انگلیوں کے نشانات اور تیل سے بلب کی کارکردگی متاثر ہوتی ہے۔ مقررہ پاور پر ہی بلب کو استعمال کریں، تاکہ ہر شفٹ میں بہترین نتائج حاصل ہوں۔