MEMS ویفروں کو خشک کرنے میں برقی طاقت کو زیادہ سے زیادہ استعمال کرنے کے لئے سونے سے ڈھکے ہوئے ریفلیکٹیو ہیٹرز
ہم نے یہ ہیٹر صرف ایک ہی مقصد کے لئے تیار کیا: یہ یقینی بنانا کہ جو بھی بجلی فراہم کی جاتی ہے، وہ ویفر پر درستجہ حرارت پیدا کرے۔ کیونکہ MEMS کی تیاری میں خشک کرنے کا عمل صرف چیزوں کو گرم کرنے تک محدود نہیں ہے؛ بلکہ اس میں درست، قابل تکرار، اور مکمل طور پر کنٹرول کیے جانے والے حرارتی عمل کی ضرورت ہے۔
حرارت پیدا کرنے کا طریقہ
اس ہیٹر کے مرکز میں ایک اعلیٰ کثافت والا ہیٹنگ عنصر موجود ہے، جو درستجہ حرارت پیدا کرنے کے لئے استعمال ہوتا ہے۔ ہم نے پورے سسٹم کا سائز اس طرح منتخب کیا ہے کہ یہ آپ کے چیمبر کے حرارتی بوجھ کے مطابق کام کرے، تاکہ تیز رفتاری سے کام کرتے وقت بھی یہ مستحکم رہے۔
بجلی کا استعمال
یہ سسٹم اعلیٰ وولٹیج پر کام کرتا ہے؛ اس کا مطلب یہ ہے کہ ایک ہی طاقت کے لئے کم کرنٹ کی ضرورت ہے۔ کم کرنٹ کی وجہ سے چھوٹے تار استعمال کئے جاسکتے ہیں، وولٹیج میں کمی ہوتی ہے، اور کنکشنز بھی ٹھنڈے رہتے ہیں۔ لہذا، اسے عام صنعتی تاروں کے ذریعہ بھی استعمال کیا جاسکتا ہے، اور پھر بھی تیز رفتاری سے خشک کرنے کے لئے درکار اعلیٰ درجہ حرارت حاصل کیا جاسکتا ہے۔ یہ ایک واضح انجینیرنگی سمجھوتہ ہے: اعلیٰ وولٹیج سے بجلی کی تقسیم بہتر ہوتی ہے، لیکن کنٹرول پینل اور آئسولیشن کو بھی اس کے مطابق ہونا ضروری ہے۔
سونے کی پرت: صرف خوبصورتی کے لئے نہیں
ریفلیکٹیو سطح پر سونے کی پرت؟ یہ صرف خوبصورتی کے لئے نہیں ہے، بلکہ یہ ایک فعال عنصر ہے۔ سونا انفراریڈ شعاعوں کو بہتر طریقے سے منعکس کرتا ہے؛ اس لئے کم توانائی باہر جاتی ہے، اور زیادہ توانائی ویفر پر ہی پڑتی ہے۔ اس سے حرارت کی تقسیم بہتر ہوتی ہے، اور ویفر کے کناروں اور وسط میں حرارت کا فرق کم ہوتا ہے۔
ہیٹر کی ساخت
ہیٹر کا جسم کوارٹز سے بنا ہے۔ ہم نے کوارٹز کا انتخاب اس لئے کیا کیونکہ یہ حرارتی دباؤ کو برداشت کرسکتا ہے، اور کلین روم میں بھی مستحکم رہتا ہے۔ سونے کی پرت کو ایک مضبوط سطح سے محفوظ کیا گیا ہے، تاکہ بار بار حرارتی عمل کے باوجود بھی یہ خراب نہ ہو۔ ہیٹر کی ساخت اس طرح ڈیزائن کی گئی ہے کہ حرارت ویفر پر یکساں طور پر پڑے – کوئی گرم نقطہ نہیں، صرف یکساں تقسیم۔
خشک کرنے کے عمل پر اس کا اثر
جب MEMS ویفروں کو خشک کیا جاتا ہے، تو مقصد یہ ہے کہ نمی کو جلدی سے ختم کیا جائے، بغیر مواد پر کسی دباؤ ڈالے۔ سونے سے ڈھکا ہوا ریفلیکٹر، توانائی کے رخ پر مکمل کنٹرول فراہم کرتا ہے۔ حرارت ویفر پر ہی پڑتی ہے، آلات پر نہیں۔ اس سے عمل کا وقت کم ہوتا ہے، اور غیر یکساں خشک کرنے کی وجہ سے ویفروں کی تعداد بھی کم ہوتی ہے۔
نصب کرنے کا طریقہ
اسے نصب کرنا بہت آسان ہے۔ ہم نے اس کا ڈیزائن اس طرح کیا ہے کہ یہ موجودہ چیمبروں اور فکسچرز میں آسانی سے فٹ ہوجائے۔
کولنگ کی ضرورت
یہ سسٹم روز بروز کام کرتا رہتا ہے، لیکن اسے مناسب کولنگ کی ضرورت ہے۔ اعلیٰ بجلی کی کثافت کی وجہ سے مشین کی کولنگ سسٹم کو بھی اس کے مطابق ہونا ضروری ہے۔ اگر کولنگ سسٹم مناسب ہو، تو مستقل کارکردگی حاصل کی جاسکتی ہے، توانائی کا ضیاع کم ہوتا ہے، اور ہیٹر طویل وقت تک کام کرتا رہتا ہے۔