
اپنے اوون کا انتظار کرنا بند کریں: سیمی کنڈکٹرز کی پروسیسنگ میں IR حرارت دینے کا طریقہ کیوں بہترین ہے؟
اگر آپ اب بھی سیمی کنڈکٹرز کی گہری پروسیسنگ کے لئے فورسڈ ایر کا استعمال کر رہے ہیں، تو دراصل آپ ہر روز “وقت کا ٹیکس” ادا کر رہے ہیں۔
فورسڈ ایر کے ذریعہ حرارت پیدا کرنے کے عمل کے بارے میں سوچیں… آپ ہوا کو گرم کرتے ہیں، اور پھر امید کرتے ہیں کہ وہ ہوا ویفر کو گرم کرے گی۔ یہ ایک پیچیدہ عمل ہے… اس میں وقت لگتا ہے۔ یہ تو ایسے ہی ہے جیسے کمرے کو ہال کے دوسری جانب سے موجود ہیٹر سے گرم کرنے کی کوشش کی جائے۔
IR حرارت دینے کے طریقہ میں تو بیچ کا واسطہ ہی ختم ہو جاتا ہے… یہ الیکٹرومیگنیٹک تابکاری کا استعمال کرکے براہِ راست انرجی کو سبسٹریٹ میں منتقل کرتا ہے… ہوا کے گرم ہونے کا انتظار کرنے کی ضرورت ہی نہیں ہے۔
رفتار میں بہت فرق ہے…
فورسڈ ایر کے ذریعہ حرارت پیدا کرنے میں تو تھرمل انرجی کی وجہ سے وقت لگتا ہے… عام طور پر منٹوں لگتے ہیں… لیکن IR لیمپس صرف چند سیکنڈوں میں ہی اپنا کام مکمل کر لیتے ہیں۔
یہی وہ جگہ ہے جہاں “ریپڈ تھرمل پروسیسنگ” (RTP) واقعی کارگر ثابت ہوتی ہے… اگر کسی پروسیس میں 100°C فی سیکنڈ کی رفتار سے درجہ حرارت بڑھانے کی ضرورت ہے، تو کنوکشن پروسیس اس رفتار کو برقرار نہیں رکھ سکتا… یہ جسمانی طور پر ناممکن ہے… لیکن IR لیمپس تو فوراً ہی اپنا کام مکمل کر لیتے ہیں۔
لیکن یہاں ایک مسئلہ ہے… جب چیزیں اتنی تیزی سے حرکت کرتی ہیں، تو احتیاط ضروری ہے…
چونکہ IR بہت شدید ہے، اس لئے ہدف کے درجہ حرارت سے زیادہ حرارت پیدا ہونے کا خطرہ ہے… یہاں “کافی قریب” رہنا کافی نہیں ہے… آپ کو ہائی-سپیڈ تھرموکپلز کی ضرورت ہے… عام طور پر K-ٹائپ یا پلیٹینم-روڈیئم ٹائپ… اور انہیں ویفر کی سطح کے بالکل قریب رکھنا ضروری ہے۔
سینسرز کو بھی ہلکا ہونا چاہیے… اگر سینسر بہت بھاری ہے، تو اس سے وقت لگتا ہے… جب تک کنٹرولر کو پتہ چلتا ہے کہ درجہ حرارت بڑھ گیا ہے، تب تک ویفر پہلے ہی خراب ہو چکا ہوتا ہے۔
لیکن یہ سب کچھ جادو نہیں ہے… کچھ قربانیاں بھی دینی پڑتی ہیں…
IR حرارت کسی خاص سمت میں ہی منتقل ہوتی ہے… جبکہ فورسڈ ایر تو پورے کمرے میں یکساں طور پر حرارت پھیلاتا ہے… لیکن اگر لیمپس کی ترتیب صحیح نہ ہو، تو IR حرارت کی وجہ سے کچھ جگہوں پر زیادہ حرارت پیدا ہو سکتی ہے… اس لئے آپ کو زوننگ کے معاملے میں بہت محتاط رہنا ہوگا۔
اور پھر ہیٹ لوڈ کا مسئلہ بھی ہے… ہائی-واٹیج IR لیمپس بہت زیادہ انرجی پیدا کرتے ہیں… اگر کولنگ سسٹم مناسب نہ ہو، تو آپ کے الیکٹرانک آلات خراب ہو سکتے ہیں۔
لیکن پھر بھی، جو لوگ زیادہ سے زیادہ ویفرز کو پروسیس کرنا چاہتے ہیں، ان کے لئے یہ بہترین حل ہے… یہ 20 منٹ کا عمل صرف 30 سیکنڈوں میں ہی مکمل ہو جاتا ہے۔