Tại sao chúng tôi lại quan tâm đến việc kiểm tra tính cách điện của các bộ sưởi dùng để làm nóng wafer?
Khi sử dụng wafer ở nhiệt độ cao, điều cuối cùng mà chúng ta muốn tránh chính là tình trạng rò rỉ điện. Chỉ cần một tia lửa nhỏ hay dòng điện không mong muốn cũng có thể phá hủy toàn bộ lô sản phẩm silicon trong vài giây. Đó thực sự là một tình huống kinh khủng.
Đó là lý do tại sao chúng tôi không chỉ kiểm tra một vài mẫu thử mà thôi. Mỗi bộ sưởi khi rời khỏi xưởng của chúng tôi đều phải trải qua các bài kiểm tra về khả năng chịu áp suất điện cao và độ cách điện. Không có ngoại lệ nào cả. Nếu thiết bị không vượt qua các bài kiểm tra này, nó sẽ không được gửi đi.
Kiểm tra kỹ lưỡng từng linh kiện
Thực tế là các bộ sưởi phải chịu nhiều áp lực lớn. Chúng liên tục được làm nóng và làm lạnh, điều này khiến vật liệu bị giãn nở và co lại. Theo thời gian, những áp lực này có thể gây ra những vết nứt nhỏ trên bề mặt vật liệu gốm hoặc thạch anh.
Nếu lớp cách điện bị hỏng, dòng điện sẽ rò rỉ vào khung máy. Trong môi trường sạch, đó không chỉ là lỗi kỹ thuật mà còn là mối nguy hiểm đối với nhân viên và là nguyên nhân gây hư hỏng thiết bị. Chúng tôi sử dụng các bài kiểm tra áp suất cao để phát hiện những khiếm khuyết ẩn giấu này ngay từ đầu, thay vì để chúng gây bất ngờ cho chúng ta khi thiết bị đang hoạt động.
Quy tắc “không sửa chữa” nếu lớp cách điện bị hỏng
Chúng tôi kiểm tra độ cách điện để đảm bảo rằng bộ phận gia nhiệt được tách biệt hoàn toàn khỏi khung máy. Nếu giá trị đo được thấp, điều đó có nghĩa là vật liệu bị ô nhiễm hoặc các khe kết nối không được khít.
Chúng tôi yêu cầu các bộ sưởi phải duy trì giá trị độ cách điện cao ngay cả khi chúng đang hoạt động ở nhiệt độ cao. Nếu thiết bị không vượt qua các bài kiểm tra này, chúng tôi sẽ loại bỏ nó. Bạn không thể “sửa chữa” lớp cách điện bị hỏng được. Hoặc là nó vẫn hoạt động tốt, hoặc là nó phải bị vứt bỏ.
Một sự hy sinh nhỏ để đổi lấy sự an tâm
Để đạt được mức độ cách điện cao hơn, đôi khi chúng tôi phải sử dụng vật liệu gốm dày hơn hoặc các lớp phủ đặc biệt.
Liệu điều này có khiến bộ sưởi trở nên to hơn không? Có. Liệu việc làm nóng thiết bị có mất thêm vài giây không? Chắc chắn rồi. Nhưng bạn sẽ có một hệ thống vô cùng vững chắc và an toàn. Bạn chỉ cần lưu ý đến sự chậm trễ nhỏ này khi điều chỉnh các thông số PID của thiết bị.
Chúng tôi sẽ gửi cho bạn báo cáo kiểm tra chi tiết cho từng số series của thiết bị. Như vậy, bạn có thể tự mình xem các giá trị liên quan đến độ rò rỉ và độ cách điện, và biết chắc rằng mọi thứ đều ổn trước khi lắp đặt thiết bị.