节能型半导体加热器

为什么我们在半导体加工中逐渐放弃使用热空气？ 目前，大多数半导体生产流程仍然依赖热空气循环来进行工件的高温处理和干燥。这其实是一种过时的方法，而且效率极低。 空气的导热性能非常差。为了让晶圆达到所需的温度，必须对整个处理腔室进行加热。这就好比试图通过加热整个厨房来让一颗豌豆变暖一样，既浪费大量能源...