MEMS传感器晶圆干燥加热器

利用镀金反射式加热器最大化MEMS晶圆的干燥效果 我们设计这种加热器的理由很简单：确保输入的每一瓦特电能都能转化为作用于晶圆上的精准热量。因为在MEMS制造过程中，干燥并不仅仅是让物体变热而已，关键是要实现精确、可重复且可控的热量传递。 热量产生的原理 该加热器的核心是一个高密度加热元件，它能够释...