微型LED晶圆干燥加热器

Out on the line，Micro LED晶圆完成清洗后直接放置于此。表面残留的任何水分都会在光刻胶涂布时导致图案坍塌，一道细痕可能贯穿整个光刻和蚀刻过程——良率直接损失。干燥器必须去除该水膜，同时不能损伤晶圆堆叠结构。 我们着重关注的核心技术 我们围绕严密的热控设计了该晶圆干燥加热器。在...