红外发射器的陶瓷端帽
为什么陶瓷端盖对红外发光器如此重要? 红外发光器在运行时会产生极高的温度,这会给其各个部件带来巨大压力。而陶瓷端盖则起到了至关重要的绝缘作用——它能够防止带电的灯丝接触到灯壳或支架。
如果陶瓷端盖出现故障,那么就会导致接地故障或短路。显然,没人希望这种情况发生。
我们会对每一个产品进行测试,没有例...
陶瓷红外加热板
在光刻车间,软烘过程中0.5°C的温度漂移绝不是“微小误差”。这意味着整个批次报废,热预算浪费,关键尺寸控制失效。我们设计的陶瓷红外加热板就是为了从根源上阻止这种漂移。
技术要点 该加热板采用陶瓷红外发射元件,通过快速、直接的辐射热作用于晶圆,并在整个表面范围内维持亚毫米级的热均匀性。这样形成的热...