高精度温度光刻胶加热器

在光刻工艺中，烘烤步骤并非简单的暂停过程，而是一种确保工艺参数处于规定范围内的手段。光刻胶的性能受温度影响极大，哪怕温度偏差仅几十分之一度，都可能导致线条宽度出现误差，而这种误差在电气测试时才能被发现。在大规模生产环境中，这样的误差意味着产品需要被废弃并重新加工。因此，我们设计了精密温度控制装置，...