用于冲洗的防水红外线灯

别再给机器加热了，直接给晶圆加热吧！ 大多数普通的红外灯都会向各个方向散发热量——360度全方位散热。而在半导体加工过程中，设备的空间十分有限，这就成了一个很大的问题。 实际上，很多热量根本不会接触到晶圆，而是直接作用于设备的内部结构上。这样一来，设备上就会出现“高温区”，这些高温区可能会灼伤操作...